A hagyományos optikai mikroszkópokhoz és elektronmikroszkópokhoz képest milyen tényezők korlátozzák az atomerőmikroszkópok felbontóképességét?
A hagyományos optikai mikroszkópok felbontóképességét a fény diffrakciós határa korlátozza, minimális felbontási távolsága a fény hullámhosszának a fele. Az elektronmikroszkóp felbontóképességét a diffrakciós határ is korlátozza, minimális felbontóképessége pedig az elektron de Broglie hullámhosszának a fele, így az elektronmikroszkóp a hagyományos optikai mikroszkópnál nagyobb felbontóképességet tud elérni.
Az atomerőmikroszkóp felbontóképessége főként a következőktől függ: a szonda hegyének mérete; a mikrokonzol rugalmassági együtthatója, minél alacsonyabb a rugalmassági együttható, annál érzékenyebb az atomerőmikroszkóp; a konzol hosszának és a lézerfény hosszának aránya; a detektor PSD érzékenysége a spot pozícióra. Egy bizonyos felbontású képnél minél kisebb a szkennelési tartomány, annál finomabb a felületi topográfia.
