Bevezetés a pásztázó elektronmikroszkóp teljesítményjellemzőibe
Különféle típusú pásztázó elektronmikroszkópok léteznek, és a különböző típusú pásztázó elektronmikroszkópok eltérő teljesítményűek. Az elektronágyú típusa szerint három típusra osztható: mezei emissziós elektronágyú, volfrámhuzalágyú és lantán-hexaborid [5]. Ezek közül a téremissziós pásztázó elektronmikroszkópiát a fényforrás teljesítménye szerint hidegmezős emissziós pásztázó elektronmikroszkópiára és termikus emissziós pásztázó elektronmikroszkópiára oszthatjuk. A hidegmezős emissziós pásztázó elektronmikroszkóp nagy vákuumkörülményeket igényel, a sugáráram instabil, az emitter rövid élettartamú, és a tűhegyet rendszeresen tisztítani kell, ami egyetlen kép megfigyelésére korlátozódik, és az alkalmazási tartomány korlátozott; míg a hőmező emissziós pásztázó elektronmikroszkóp nem csak folyamatos Hosszú ideig működhet, és számos kiegészítővel kombinálható az átfogó elemzés érdekében. A geológia területén nem csak a minta előzetes morfológiáját kell megfigyelnünk, hanem a minta egyéb tulajdonságait is elemezni kell az analizátorral kombinálva, így a termikus tér emissziós pásztázó elektronmikroszkóp elterjedtebb.
A pásztázó elektronmikroszkóp (SEM) egy nagy precíziós műszer nagy felbontású mikrodomén morfológiai elemzéshez. Jellemzői: nagy mélységélesség, nagy felbontás, intuitív képalkotás, erős sztereoszkópikus hatás, széles nagyítási tartomány, valamint a vizsgálandó minta háromdimenziós térben forgatható és dönthető. Ezen túlmenően a mérhető minták széles választéka, az eredeti minta szinte károsodása és szennyeződésmentessége, valamint a morfológiai, szerkezeti, összetételi és krisztallográfiai információk egyidejű megszerzése. Jelenleg a pásztázó elektronmikroszkópiát széles körben alkalmazzák a mikroszkópos kutatásokban az élettudomány, a fizika, a kémia, az igazságszolgáltatás, a földtudomány, az anyagtudomány és az ipari termelés területén. , szedimentológia, geokémia, gemológia, mikropaleontológia, asztrogeológia, olaj- és gázgeológia, mérnökgeológia és szerkezeti geológia stb.
Bár a pásztázó elektronmikroszkóp a mikroszkópcsalád feltörekvő csillaga, számos előnye miatt a fejlődési sebesség igen gyors.
1. A műszer felbontása viszonylag nagy, a szekunder elektronfelvételen keresztül a minta felületén mintegy 6 nm-es részletek figyelhetők meg, amely LaB6 elektronágyúval tovább javítható 3 nm-re.
2 A műszer nagyítási tartománya széles és folyamatosan állítható. Emiatt igény szerint különböző látómezők választhatók ki a megfigyelésre, ugyanakkor nagy nagyítás mellett is nagy fényerejű, általános transzmissziós elektronmikroszkóppal nehezen elérhető tiszta képek nyerhetők.
3 A minta megfigyelése nagy mélységélességgel, nagy látómezővel rendelkezik, és a kép tele van háromdimenzióssággal. Közvetlenül megfigyelheti a nagy hullámzásokkal járó durva felületet és a minta egyenetlen fémtörési képét, amitől az ember a mikroszkopikus világban érzi magát.
4. A minta előkészítése egyszerű. Mindaddig, amíg a tömb- vagy porminta enyhén feldolgozott vagy nem feldolgozott, közvetlenül behelyezhető a pásztázó elektronmikroszkópba megfigyelésre, így közelebb kerül az anyag természetes állapotához.
5 Hatékonyan szabályozhatja és javíthatja a képminőséget elektronikus módszerekkel, például a fényerő és a kontraszt automatikus karbantartásával, a minta dőlésszögének korrekciójával, a kép elforgatásával, vagy javíthatja a kép kontrasztjának toleranciáját az Y modulációval, valamint a különböző részek fényerejét és sötétségét. a képről Mérsékelt. Dupla nagyítású készülék vagy képválasztó segítségével a fluoreszkáló képernyőn egyszerre különböző nagyítású képek figyelhetők meg.
6 az átfogó elemzéshez. Szereljen fel hullámhossz-diszperzív röntgenspektrométert (WDX) vagy energiadiszperzív röntgenspektrométert (EDX), hogy elektronszondaként működjön, és képes legyen a visszavert elektronok, röntgensugárzás, katodofluoreszcencia, átvitt elektronok, Auger elektronika észlelésére is. stb. A pásztázó elektronmikroszkópia alkalmazásának kiterjesztése a különböző mikroszkópos és mikroterületi elemzési módszerekre a pásztázó elektronmikroszkópia sokoldalúságát mutatja. Emellett a minta választható kistérségét is elemzi a topográfiai kép megfigyelése közben; szerelje be a félvezető mintatartó tartozékot, és az elektromotoros erő képerősítőjén keresztül közvetlenül figyelje meg a PN átmenetet és a tranzisztor vagy az integrált áramkör mikroszkopikus hibáit. Mivel számos pásztázó elektronmikroszkópos elektronikus szonda megvalósította az elektronikus számítógépes automatikus és félautomata vezérlést, a kvantitatív elemzés sebessége jelentősen javult.
