Mi a szerszámmikroszkópok általános mérési módszere?
1. Derékszögű koordináta mérés:
A mérés során a mérendő tárgy derékszögű koordinátairányának összhangban kell lennie a kereszt alakú asztal mozgási irányával, mielőtt a mérést elvégezni lehetne. Descartes-féle koordináta-mérés használatakor a Descartes-koordináta értéke közvetlenül leolvasható a keresztmozgató táblázat mozgási mennyiségéből. Ha nagyméretű szerszámmikroszkópról van szó, akkor a célzó furaton lévő kép derékszögű koordináta-mérés segítségével csatlakoztatható a megfigyelőszem a helyes méréshez, illetve a tárgy derékszögének mérésekor A koordinátairány és a keresztirányú mozgóasztal korrigálásakor nagyon kényelmes a nagy szerszámmikroszkópra szerelt összeszerelt forgóasztal használata. Ami a kis szerszámmikroszkópot illeti, csak a forgóasztal van rögzítve.
2. Szögmérés:
Forgóasztallal vagy szögfigyelő lencsével mérhető. Általánosságban elmondható, hogy a szögfigyelő lencsék pontosabbak.
3. Magasságmérés:
Bár egy kisméretű szerszámmikroszkóp nem tudja megmérni a magasságot, ha a tartó felső végéhez mérőműszer van rögzítve, és a magasság mérése a mikroszkóp fel-le mozgatásával történik. Azonban nagyon nehéz pontosan mérni a fókuszmélység, a támasz dőlésszögének, valamint a mérőeszköz és az optikai tengely közötti hibák miatt.
4. Pórusátmérő mérése:
Általában szögfigyelő lencsét használnak a méréshez, de nagyméretű szerszámmikroszkópokhoz szuperponált képmegfigyelő lencse vagy optikai detektor is használható. Azaz egy ráhelyezett képlencsével átfedjük a két generált képet, majd ugyanez igaz a másik oldalon is. Ezért a mozgás mértéke a furat belső átmérőjét jeleníti meg. Optikai detektor használata esetén először egy 3x-os tárgylencsére szerelje fel, majd igazítsa egymáshoz az érzékelő és a munkaasztal mozgási irányát, majd állítsa be a megfigyelő tükörben az átfedési vonalat úgy, hogy párhuzamos legyen a megfigyelőlencse szálkeresztjével. A mérőelem érintkezésbe kerül a furat felületével. Végül az Y tengely előtolása az átfedő vonal fordított mozgását korrigálja, az X tengely előtolása pedig arra szolgál, hogy az átfedő vonal befogja a megfigyelőlencse tíz részvonalát, így a mért érték az X tengelyen leolvasható. Ugyanez igaz a szemközti oldalon lévő lyukra is, tehát a leolvasott értékek különbsége plusz a detektor átmérője felhasználható a furat belső átmérőjének meghatározásához.
