Mi a négy általánosan használt szintfelderítési módszer?
1. Tapintó idommérési módszer
Csak egy hordható hézagmérő készlet használható a síkság durva mérésére bármikor és bárhol. Jelenleg is sok gyár használja ezt a módszert az észlelésre. Alacsony pontossága miatt a legvékonyabb hagyományos hézagmérő 10um, az észlelési hatékonyság alacsony, az eredmény nem elég átfogó, és csak az alkatrész széle érzékelhető.
2. Folyadékszint módszer
A csatlakozó működési elve alapján alkalmas folytonos vagy nem folytonos nagy síkok síkságának mérésére, de hosszú ideig tart a mérés és érzékeny a hőmérsékletre, így csak kis mérési pontosságú síkokhoz alkalmas.
3. Lézeres sík interferométeres mérési módszer
A legjellemzőbb felhasználási terület a síkkristály interferometria. De elsősorban sima kis síkok mérésére használják, mint például a mikrométer mérőfelülete, a mérőeszköz munkafelülete és az optikai lencse.
4. Szintmérő mérési módszer
Széles körben használják a munkadarab felületének egyenességének és síkságának mérésére. Nagy mérési pontosság, jó stabilitás, kis méret, könnyen hordozható. Ennek a mérési módszernek a használatakor azonban szükséges a műszer helyzetének többszöri mozgatása és az egyes mérési pontok adatainak rögzítése, ami időigényes, munkaigényes, hosszú beállítási idő, és az adatfeldolgozási eljárás is körülményes.
5. Mérőmérési módszer
Jellemző alkalmazási területei a lemezmikrométerek és a háromkoordinátás műszerek, amelyek közül a háromkoordinátás műszerek a legszélesebb körben használtak. A mérés során az indikátor a vizsgálandó mintán mozog, és az egyes mérési pontok mérési referenciához viszonyított adatait a kiválasztott elrendezési pontok szerint mérik, majd adatfeldolgozással kiértékelik a síkossági hibát. De a hatékonysága alacsony, a minta általában több percig tart, messze a várt 15 ppm-től.
