Melyek azok a tényezők, amelyek befolyásolják a transzmissziós elektronmikroszkóp felbontását?
A. Beeső elektronnyaláb foltátmérő: a SEM felbontóképességének határa. Általában a forró katód elektronágyú minimális pontátmérője 6 nm-re csökkenthető, és a mezőemissziós elektronágyú 3 nm-nél kisebbre teheti a folt átmérőjét.
B. A beeső elektronnyaláb tágulási hatása a mintában: a diffúzió mértéke függ a beeső nyaláb elektronenergiájától és a minta rendszámától. Minél nagyobb a beeső sugár energiája és minél kisebb a minta rendszáma, minél nagyobb az elektronsugár térfogata, annál nagyobb az elektronsugár diffúziójával keletkező jel területe, így csökken a felbontás.
C. képalkotó módszer és az alkalmazott modulációs jel: amikor a másodlagos elektronmodulációs jel alacsony energiája miatt (50 eV-nál kisebb) az átlagos szabad hatótávolság rövid (10 ~ 100 nm kb.), csak a felületi rétegben. a szekunder elektronok 50 ~ 100 nm mélységi tartománya a minta felületéről kiszabadulhat, a szóródás előfordulása nagyon korlátozott, alapvetően nem tágul oldalirányban, így a szekunder elektronkép felbontása megközelítőleg megegyezik a nyalábbal folt átmérője. Ha a visszaszórt elektronokat modulációs jelként használjuk, a visszaszórt elektronok a minta mélyebb tartományából (az effektív mélység kb. 30%-a) kiszabadulhatnak nagy energiájuk és áthatoló képességük miatt. Ebben a mélységtartományban a beeső elektronok meglehetősen széles oldalirányú kiterjedésűek, így a visszaszórt elektronkép felbontása alacsonyabb, mint a másodlagos elektronképé, általában körülbelül 500 ~ 2000 nm. Ha az elektronok abszorpciója, a röntgensugárzás, a katódlumineszcencia, a nyalábérzékelő vezetőképesség vagy potenciál más működési módok modulációs jeleként, a teljes elektronnyaláb szórási tartományból érkező jel miatt, a kapott felbontás pásztázó képe viszonylag alacsony, általában l, 000 nm vagy l 000 nm vagy több, mint változó.
