A pásztázó elektronmikroszkópok típusai és jellemzői
Különböző típusú pásztázó elektronmikroszkópok léteznek, és a pásztázó elektronmikroszkópok különféle típusai teljesítménybeli különbségeket mutatnak. Az elektronpisztoly típusa szerint három típusra osztható: mező emissziós elektronfegyver, volfrámhuzal -pisztoly és lanthanum hexaborid. Közülük a mező emissziós pásztázó elektronmikroszkópos vizsgálatát fel lehet osztani a hidegmező -emissziós pásztázó elektronmikroszkópon és a forró mező emissziós pásztázó elektronmikroszkóppal a fényforrás teljesítménye alapján. A hideg mező emissziós pásztázó elektronmikroszkópos vizsgálatához nagy vákuumfeltételeket, instabil gerendaáramot, rövid emitter élettartamot igényel, és a tűhegy rendszeres tisztítását igényli, amely az egy kép megfigyelésére korlátozódik, és korlátozott alkalmazási tartományban van; A termikus mező emissziós pásztázó elektronmikroszkópja nemcsak hosszú, folyamatos munkaidővel rendelkezik, hanem különféle kiegészítőkkel is kombinálható az átfogó elemzés elérése érdekében. A geológia területén nemcsak a minták előzetes morfológiáját kell megfigyelnünk, hanem a minták más tulajdonságait is elemezni kell az analizátorokkal kombinálva, így a hőtér -emissziós pásztázó elektronmikroszkópia alkalmazása kiterjedtebb.
Noha a pásztázó elektronmikroszkópia újonc a mikroszkópos családban, a fejlődési sebessége nagyon gyors, annak számos előnye miatt.
A műszer nagy felbontású, és a minta felületén kb. 6 nm részleteket figyelhet meg másodlagos elektron képalkotáson keresztül. A LAB6 elektronfegyver használatával tovább javítható 3NM -re.
A műszer széles körű nagyítási változásokkal rendelkezik, és folyamatosan beállítható. Ezért szükség szerint különféle méretű látóteret választhat ki, és a nagy fényerősségű, nagy fényerővel rendelkező tiszta képeket is elérhetők, amelyek az általános transzmissziós elektronmikroszkóppal is elérhetők.
A minta mélysége és látómezője nagy, és a kép háromdimenziós értelemben gazdag. Közvetlenül megfigyelheti a durva felületeket, nagy hullámokkal és a minta egyenetlen fémtörési képeivel, így az embereknek a mikroszkopikus világban való jelenléte van.
A 4 minta előkészítése egyszerű. Mindaddig, amíg a blokk- vagy pormintákat kissé kezelik vagy nem kezelik, közvetlenül megfigyelhetők egy pásztázó elektronmikroszkóp alatt, amely közelebb áll az anyag természetes állapotához.
5. A képminőség hatékonyan vezérelhető és javítható elektronikus módszerekkel, például a fényerő és a kontraszt automatikus karbantartása, a minta dőlésszögének korrekciója, a kép forgása vagy a kép kontraszttoleranciájának javítása az Y moduláció révén, valamint mérsékelt fényerő és sötétség a kép különböző részein. Kettős nagyító eszköz vagy képválasztó használatával a különböző nagyítású képek egyszerre megfigyelhetők a fluoreszcens képernyőn.
A 6. ábrát átfogó elemzésnek lehet alávetni. Szereljen be egy hullámhosszú diszpergáló röntgen-spektrométert (WDX) vagy az energia diszpergáló röntgen-spektrométert (EDX), hogy lehetővé tegye az elektronszondaként való működését, és a minta által kibocsátott tükröződött elektronok, röntgen, katodolumineszcencia, továbbított elektronok, auger elektronok stb. A pásztázó elektronmikroszkópia alkalmazásának kibővítése különféle mikroszkópos és mikroterület -elemzési módszerekre kimutatták, hogy a pásztázó elektronmikroszkópia multifunkalitása. Ezenkívül a morfológiai kép megfigyelése közben is lehet elemezni a minta kiválasztott mikroterületeit; A félvezető mintatartó rögzítésével a tranzisztorokban vagy az integrált áramkörökben a PN csomópontok és a mikrobetűkkel közvetlenül megfigyelhetők egy elektromotív erőművész -erősítőn keresztül. Az elektronikus számítógépes automatikus és félautomata vezérlés megvalósítása miatt számos pásztázó elektronmikroszkóp elektronszonda esetén a kvantitatív elemzés sebessége jelentősen javult.
