A pásztázó elektronmikroszkóp és a lézeres konfokális mikroszkóp közötti különbség
A lézeres konfokális mikroszkóp és a pásztázó elektronmikroszkóp is pontról pontra pásztázó képalkotás, a nagyítás pedig a pásztázási hatótávolság szabályozásával állítható be. A lézeres konfokális mikroszkóp lézeres szkenneléssel működik, és háromdimenziós képeket készíthet. A pásztázó elektronmikroszkóp különféle fizikai jeleket használ, amelyeket a finoman fókuszált elektronsugár gerjeszt a minta felületének pásztázására a képalkotás modulálására. Csak kétdimenziós képek készíthetők, de háromdimenziós képek nem.
1. A határfelbontás eltérő (más az erősített jelforrás)
Konfokális lézer: végső felbontás 150 nm
Pásztázó elektronmikroszkóp: 20nm ~ 0,8 nm
2. Különböző szkennelési meghajtó módszerek
Lézeres konfokális: a lézeres forgótükör szabályozza a lézeres szkennelési tartományt és a pásztázási sebességet
Pásztázó elektronmikroszkóp: Az elektromágneses tekercs szabályozza az elektronsugár pásztázási tartományát és pásztázási sebességét
3. Különböző sztereó képalkotás
Lézeres konfokális: A mintát rétegről rétegre Z-tengely irányban egy nanométeres pontosságú léptetőmotorral leképezi, és a szoftver minden rétegkészlet képét tiszta, háromdimenziós képpé szintetizálja.
Pásztázó elektronmikroszkóp: Egy képkockás kép nagy mélységélességgel rendelkezik, és kétdimenziós kép
4. Az alkalmazási kör eltérő
Lézeres konfokális: többször ~ ezerszer
Pásztázó elektronmikroszkóp: többször ~ százezerszer
5. Más a munkakörnyezet
Konfokális lézer: A mintákat légköri környezetben is tesztelheti
Pásztázó elektronmikroszkópia: Minták vizsgálata nagy vákuumban
