A konfokális mikrometria elvei és módszerei
A konfokális mikroszkóp a lézeres konfokális pásztázó mikroszkóp (LCSM) rövidítése, amely mikroszkópos felvételt főként 3D-s képalkotási technikákkal készített, így nagy 3D-s képfelbontást biztosít. Ezeket mikrográfok készítésével érik el.
A konfokális mikroszkópos képalkotás alapelvei
Konfokális mikroszkóp eszközt helyezünk a mérendő tárgy fókuszsíkjának konjugált felületére két kis lyukat, amelyek közül az egyik a fényforrás, a másik a detektor elé kerül, a kapott kép az egyikből fény. A fókuszsíkot egy tűlyukú digitális fényképezőgépen keresztüli fókuszálással rögzítik, és a különböző fókuszsíkok felhalmozott képsoraiból szoftver segítségével komplett 3D-s képet állítanak össze.
A konfokális mikroszkóp rendszer a hagyományos optikai mikroszkópoknál nagyobb részletességgel jeleníti meg a nagyított képeket. A konfokális mikroszkóp azonos objektív nagyítás mellett élesebb és finomabb morfológiai részletekkel és nagyobb oldalfelbontású képeket mutat be. A mikro-nano-detektálás eszközeként a konfokális mikroszkópia sok tekintetben különbözik a fehér fény interferometriájától. Ha egy szót használunk a leírására, akkor a fehér fény interferometria „irodalmi”, míg a konfokális mikroszkóp „harci”. A fehér fény jó a nanométer alatti ultra-sima felület észleléséhez, az észlelési érték pontosságának eléréséhez; míg a konfokális jó mikro-nanométeres durva kontúrérzékelésben, bár a felbontás érzékelésében valamivel gyengébb, de színes, valódi színű képeket képes biztosítani a könnyű megfigyelés érdekében.
A konfokális mikroszkóptól a konfokális technológiáig, mint alapelv, a precíziós Z szkennelő modullal, 3D modellező algoritmusokkal stb. kombinálva mindenféle mérést tud végezni, beleértve a simatól a durvaig, az alacsony visszaverődéstől a nagy fényvisszaverő képességig az objektum felületén, nanotól mikronig a munkadarab egyenetlensége, síksága, mikrogeometriai kontúrjai, görbülete és egyéb paraméterei különféle termékek, alkatrészek és anyagok felületi felülete, felületi kontúrok, felületi hibák, kopás, korróziós körülmények, felületi jellemzők, például síkság mérése és elemzése , érdesség, hullámosság, pórushézag, lépésmagasság, hajlítási deformáció, megmunkálás és egyéb felületi jellemzők.
