Szerszámmikroszkópok felépítése és meghatározása
1. Kis szerszámos mikroszkóp
Egy precíziós keresztmozgató asztalból és egy megfigyelő mikroszkópból áll. Ez egy kis szerszámmikroszkóp. Úgy tervezték, hogy könnyen használható legyen, így az oszlopok nem dőlnek meg. A világítóberendezés is egyszerű. Bár egyszerű, sok tartozékhoz hasonlítható. Csatlakozás után különféle mérési feladatok adhatók hozzá.
2. Nagyméretű szerszámmikroszkóp
Forgó munkaasztala egy precíziós, kereszt alakú mozgóasztalból és egy megfigyelő mikroszkópból van összeszerelve. A behatoló világítóberendezés centrifugális világítást alkalmaz. Az oszlopok és a munkaasztal egybeépítettek, és balra és jobbra dönthetők, így a menetmérés nagyon kényelmes. A szem megfigyelő része egy vetítőeszközzel van felszerelve a vetített képek megfigyelésére.
Szerszámmikroszkópos mérés
1. Derékszögű koordináta mérés
A mérés során a mérendő tárgy derékszögű koordinátairányának összhangban kell lennie a kereszt alakú asztal mozgási irányával, mielőtt a mérést elvégezni lehetne. Descartes-féle koordináta-mérés használatakor a Descartes-koordináta értéke közvetlenül leolvasható a keresztmozgató táblázat mozgási mennyiségéből. Ha nagyméretű szerszámmikroszkópról van szó, akkor a célzó furaton lévő kép derékszögű koordináta-mérés segítségével csatlakoztatható a megfigyelőszem a helyes méréshez, illetve a tárgy derékszögének mérésekor A koordinátairány és a keresztirányú mozgóasztal korrigálásakor nagyon kényelmes a nagy szerszámmikroszkópra szerelt összeszerelt forgóasztal használata. Ami a kis szerszámmikroszkópot illeti, csak a forgóasztal van rögzítve.
2. Szögmérés
Forgóasztallal vagy szögfigyelő lencsével mérhető. Általánosságban elmondható, hogy a szögfigyelő lencsék pontosabbak.
3. Magasságmérés
Bár egy kisméretű szerszámmikroszkóp nem tudja megmérni a magasságot, ha a tartó felső végéhez mérőműszer van rögzítve, és a magasság mérése a mikroszkóp fel-le mozgatásával történik. Azonban nagyon nehéz pontosan mérni a fókuszmélység, a támasz dőlésszögének, valamint a mérőeszköz és az optikai tengely közötti hibák miatt.
4. Pórusátmérő mérés
Általában szögfigyelő lencsét használnak a méréshez, de nagyméretű szerszámmikroszkópokhoz szuperponált képmegfigyelő lencse vagy optikai detektor is használható. Azaz egy ráhelyezett képlencsével átfedjük a két generált képet, majd ugyanez igaz a másik oldalon is. Ezért a mozgás mértéke a furat belső átmérőjét jeleníti meg. Optikai detektor használata esetén először egy 3x-os tárgylencsére szerelje fel, majd igazítsa egymáshoz az érzékelő és a munkaasztal mozgási irányát, majd állítsa be a megfigyelő tükörben az átfedési vonalat úgy, hogy párhuzamos legyen a megfigyelőlencse szálkeresztjével. A mérőelem érintkezésbe kerül a furat felületével. Végül az Y tengely előtolása az átfedő vonal fordított mozgását korrigálja, az X tengely előtolása pedig arra szolgál, hogy az átfedő vonal befogja a megfigyelőlencse tíz részvonalát, így a mért érték az X tengelyen leolvasható. Ugyanez igaz a szemközti oldalon lévő lyukra is, tehát a leolvasott értékek különbsége plusz a detektor átmérője felhasználható a furat belső átmérőjének meghatározásához.
