A pásztázó elektronmikroszkóp előnyei
1. Nagyítási tényező
A pásztázó elektronmikroszkóp fluoreszcens képernyőjének rögzített mérete miatt a nagyítás változását az elektronnyaláb pásztázási amplitúdójának változtatásával érjük el a minta felületén.
Ha a pásztázó tekercs áramát csökkentjük, az elektronsugár pásztázó amplitúdója a mintán csökken, az erősítési tényező pedig nő. A beállítás nagyon kényelmes, és 20x-tól körülbelül 200 000-ig folyamatosan állítható.
2. Felbontás
A felbontás a pásztázó elektronmikroszkópia fő teljesítménymutatója.
A felbontást a beeső elektronsugár átmérője és a modulációs jel típusa határozza meg. Együttes meghatározás:
Minél kisebb az elektronsugár átmérője, annál nagyobb a felbontás.
A képalkotáshoz használt fizikai jelek felbontása eltérő.
Például az SE és BE elektronok emissziós tartománya és felbontása eltérő a minta felületén. Az SE felbontása általában 5-10nm, míg a BE felbontása 50-200nm körüli.
3. Mélységélesség
Az objektív azon képességtartományára vonatkozik, hogy egyidejűleg fókuszáljon és egy egyenetlen minta különböző részeit leképezi.
A pásztázó elektronmikroszkóp végső lencséje kis szögletes apertúrát és nagy gyújtótávolságot használ, így nagy mélységélesség érhető el. 100-500-szer nagyobb, mint az általános optikai mikroszkóp mélységélessége, és 10-szer nagyobb, mint a transzmissziós elektronmikroszkóp mélységélessége.
A SEM kiemelkedő jellemzői a nagy mélységélesség, az erős háromdimenziós érzékelés és a valósághű morfológia.
A pásztázó elektronmikroszkópiához használt minták két kategóriába sorolhatók:
Az 1. ábra egy jó vezetőképességű minta, amely általában megtartja eredeti alakját, és elektronmikroszkóp alatt megfigyelhető enyhe tisztítás nélkül vagy enyhe tisztítással;
A 2. ábra egy nem vezetőképes minta, vagy olyan minta, amelynek vízvesztesége, gázkibocsátása vagy zsugorodási deformációja van vákuumban, és amelyet megfelelően kezelni kell a megfigyelés előtt.
