Miért kell egy elektronmikroszkóphoz vákuumrendszer?
Az elektronok levegőben történő lassú mozgása miatt szükséges az elektronmikroszkóp vákuumfokának fenntartása vákuumrendszeren keresztül. Ellenkező esetben a levegőben lévő molekulák akadályozzák az elektronsugár kibocsátását, és megakadályozzák a képalkotást. Csatlakoztasson kétféle vákuumszivattyút sorba, hogy vákuumot kapjon az elektronmikroszkóp csőben. Az elektronmikroszkóp elindításakor az első fokozatú forgószivattyú alacsony vákuumot kap a második fokozatú szivattyú elővákuumjaként; A második szakaszban olajdiffúziós szivattyút használnak a nagy vákuum eléréséhez.
A pásztázó elektronmikroszkópia nagy{0}}energiájú elektronsugarat használ az objektumok szkennelésére és leképezésére. A képfelbontás biztosításához az elektronsugarat kollimálni kell és úgy kell fókuszálni, mint egy nyalábot. Ha nem lenne vákuum vagy elégtelen vákuumfok, akkor a nagy-energiájú elektronsugarak elnyelnének vagy szétszóródnának, amikor levegőmolekulákat érnének, megzavarva kollimációjukat és lehetetlenné téve a képalkotást.
A vákuumnak két funkciója van: az egyik, hogy megakadályozza, hogy a levegőmolekulák szétszórják az elektronokat, ami az elektronsugár rossz fókuszálásához vezethet; Egy másik, hogy elkerüljük az elektronenergia veszteségét a levegőmolekulákkal való ütközés után.
A vákuum jelentősége az elektronmikroszkópiában: A vákuum nagyon fontos szerepet játszik az elektronmikroszkópiában. Amikor az elektronmikroszkóp működik, a teljes elektronsugár út és a vizsgálandó minta nagyvákuumú környezetbe kerül. Ha a vákuumfok nem elég magas, az elektronágyú kapuja és anódja között elektródák közötti kisülés léphet fel, ami kiégetheti az izzószálat. Az elektronnyaláb és a maradék levegőrészecskék ütközése is okozhat szóródást, ami megakadályozhatja, hogy az elektronnyalábban lévő elektronok elérjék a mintát, vagy torzíthatják az elemzést.
Az elektronmikroszkópok vákuumigénye: Annak érdekében, hogy az elektronnyalábban lévő elektronok a lehető legsimábban mozoghassanak, az elektronmikroszkópok vákuumfokának általában el kell érnie egy 1E-7mbar nagyságrendű nagyvákuumot, vagy akár egy ultra-nagy vákuumot, amely nagyságrendileg 1E-10,10 mbar. A vákuumfok mellett a vákuumszivattyú működése során a rezgésszint is meghatározó. Az elektronsugár kis keresztmetszete miatt a mintán a pozicionálási pontosság nagyon nagy, és ez a pontosság csak rendkívül alacsony rezgésszintű környezetben tartható meg; Ezenkívül a minta vagy a mikroszkóp belső alkatrészeinek olajgőz-szennyeződésének elkerülése érdekében a legjobb olajmentes száraz vákuumszivattyút használni.
