Milyen tényezők befolyásolják a transzmissziós elektronmikroszkópia felbontását?
A. Beeső elektronnyaláb foltátmérő: a pásztázó elektronmikroszkóp felbontóképességének határa. Általában a forró katód elektronágyú minimális sugárfolt-átmérője 6 nm-re csökkenthető, és a mezőemissziós elektronágyú 3 nm-nél kisebbé teheti a sugárfolt átmérőjét.
B. A beeső elektronnyaláb tágulási hatása a mintában: a diffúzió mértéke függ a beeső nyaláb elektronjainak energiájától és a minta rendszámától. Minél nagyobb a beeső sugár energiája, minél kisebb a minta rendszáma, annál nagyobb az elektronsugár térfogata, és az elektronsugár diffúziójával növekszik az a terület, ahol a jel keletkezik, ezáltal csökken a felbontás.
C. Képalkotó módszer és alkalmazott modulációs jel: ha a szekunder elektront modulációs jelként használjuk, alacsony energiája (kevesebb, mint 50 eV) és rövid átlagos szabad útja (körülbelül 10-100 nm) miatt csak a felületi réteg A 50-100 nm-es szekunder elektronok a mélységtartományban csak a minta felszínéről tudnak kiszabadulni, a szórások száma pedig nagyon korlátozott, és oldalirányban alapvetően nem tágul. Ezért a szekunder elektronkép felbontása megközelítőleg megegyezik a nyalábfolt átmérőjével. Ha a visszaszórt elektronokat modulációs jelként használjuk, akkor a visszaszórt elektronok energiája viszonylag nagy, a behatolási képességük pedig erős, így a mintában egy mélyebb területről (az effektív mélység kb. 30 százaléka) ki tudnak menekülni. Ebben a mélységtartományban a beeső elektronok oldalirányú kiterjedése meglehetősen széles, így a visszaszórt elektronkép felbontása kisebb, mint a szekunder elektronképé, általában 500-2000nm körüli. Ha más működési módokat, például elektronabszorpciót, röntgensugárzást, katódfluoreszcenciát, nyaláb által indukált vezetőképességet vagy potenciált használunk modulációs jelként, mivel a jelek a teljes elektronsugár-szórási területről származnak, a kapott pásztázó képek felbontása viszonylag alacsony. , általában l 000 nm vagy l0000 nm felett.
