Az elektronmikroszkóp és a metallográfiai mikroszkóp közötti különbség
A Scanning ElectronMicroscope, rövidítve SEM, egy összetett rendszer, amely az elektronoptikai technológiát, a vákuumtechnológiát, a finommechanikai szerkezetet és a modern számítógépes vezérlési technológiát kondenzálja. A pásztázó elektronmikroszkóp az elektronágyú által kibocsátott elektronokat egy többlépcsős elektromágneses lencsén keresztül egy kis elektronsugárba gyűjti össze gyorsító nagyfeszültség hatására. A mintafelület pásztázása különféle információkat stimulál, az információk fogadásával, felerősítésével és megjelenítésével a mintafelület elemezhető. A beeső elektronok és a minta közötti kölcsönhatás az 1. ábrán látható információtípusokat eredményezi. Ennek az információnak a kétdimenziós intenzitáseloszlása a minta felületének jellemzőivel változik (ezek a jellemzők a felület morfológiája, összetétele, kristály orientációja, elektromágneses tulajdonságai, stb.), amely a különböző detektorok által gyűjtött információk szekvenciális és arányos konvertálása. A videojelet videojellé alakítják, majd szinkron pásztázó képcsőbe küldik, és fényerejét modulálják, hogy a minta felületi állapotát tükröző szkennelt képet kapjanak. Ha a detektor által vett jelet digitálisan feldolgozzuk és digitális jellé alakítjuk, akkor azt a számítógép tovább tudja feldolgozni és tárolni. A pásztázó elektronmikroszkóppal elsősorban vastag, nagy magasságkülönbséggel és durva egyenetlenségekkel rendelkező minták megfigyelésére szolgál. Ezért a mélységélesség hatás kiemelve van a tervezésben. Általában olyan törések és természetes felületek elemzésére használják, amelyeket nem mesterségesen feldolgoztak.
Elektronmikroszkóp és kohászati mikroszkóp
1. Különböző fényforrások: A metallográfiai mikroszkópok látható fényt használnak fényforrásként, a pásztázó elektronmikroszkópok pedig elektronsugarat használnak fényforrásként a képalkotáshoz.
2. Különböző alapelvek: A metallográfiai mikroszkópok a geometriai optikai képalkotás elvét használják a képalkotáshoz, míg a pásztázó elektronmikroszkópok nagy energiájú elektronsugarakkal bombázzák a minta felületét, hogy a minta felületén különböző fizikai jeleket stimuláljanak, majd különböző jeldetektorokat használnak a vételre. a fizikai jeleket, és képpé alakítja azokat. információ.
3. Különböző felbontások: A fény interferencia és diffrakciója miatt a metallográfiai mikroszkóp felbontása csak 0.2-0.5um-ra korlátozható. Mivel a pásztázó elektronmikroszkóp elektronsugarat használ fényforrásként, felbontása 1-3 nm közé eshet. Ezért a metallográfiai mikroszkóp alatti szövetmegfigyelés a mikronszintű analízishez, míg a pásztázó elektronmikroszkópos szövetmegfigyelés a nanoszintű elemzéshez tartozik.
4. Eltérő mélységélesség: Általában a metallográfiai mikroszkóp mélységélessége 2-3um között van, így rendkívül magas követelményeket támaszt a minta felületi simaságával szemben, így a minta-előkészítési folyamata viszonylag bonyolult. A pásztázó elektronmikroszkóp nagy mélységélességgel, nagy látómezővel és háromdimenziós képpel rendelkezik, és közvetlenül képes megfigyelni a különböző minták egyenetlen felületeinek finom szerkezetét.
