Az elektronmikroszkóp több részből áll
Az elektronmikroszkóp három részből áll: lencsecsőből, vákuumkészülékből és tápegységből.
1. A lencsecső főleg elektronforrásokat, elektronlencséket, mintatartókat, fluoreszkáló képernyőket és detektorokat tartalmaz. Ezeket az alkatrészeket általában felülről lefelé hengerbe szerelik össze.
Az elektronlencse az elektronok fókuszálására szolgál, és az elektronmikroszkóp hengerének legfontosabb eleme. Általában mágneses lencséket használnak, és néha elektrosztatikus lencséket is használnak.
2. A vákuumeszköz a mikroszkóp vákuumállapotának biztosítására szolgál, hogy az elektronok ne nyeljenek el vagy térjenek el az útjuk során. Egy mechanikus vákuumszivattyúból, egy diffúziós szivattyúból és egy vákuumszelepből áll, és egy kipufogócsövön keresztül csatlakozik a lencsecsőhöz.
3. A tápszekrény egy nagyfeszültségű generátorból, egy gerjesztőáram-stabilizátorból és különböző beállító vezérlőegységekből áll.
