Az elektronmikroszkópia és a metallográfiai mikroszkópia különbségei
A pásztázó elektronmikroszkópia alapelvei
A pásztázó elektronmikroszkóp, rövidítve SEM, egy összetett rendszer; Koncentrált elektronikus optikai technológia, vákuum technológia, finom mechanikai szerkezet, és modern számítógépes vezérlési technológia. A pásztázó elektronmikroszkópia az a folyamat, amikor az elektronágyú által gyorsított nagy nyomáson kibocsátott elektronokat egy többlépcsős elektromágneses lencsén keresztül egy kis elektronsugárba egyesítik. Szkennelje le a minta felületét a különböző információk gerjesztéséhez, és elemezze a minta felületét ezen információk fogadásával, felerősítésével és megjelenítésével. A beeső elektron és a minta közötti kölcsönhatás az 1. ábrán látható információtípust eredményezi. Ennek az információnak a kétdimenziós intenzitáseloszlása a minta felületének jellemzőitől függően változik (például felület morfológiája, összetétele, kristály orientációja, elektromágneses tulajdonságai, stb.). Ez az a folyamat, amely során a különböző detektorok által gyűjtött információkat szekvenciálisan és arányosan videojelekké alakítják, majd szinkronban letapogatott képcsövekbe továbbítják, és fényerejüket modulálják, hogy a minta felületi állapotát tükröző pásztázási képet kapjanak. Ha a detektor által vett jelet digitalizáljuk és digitális jellé alakítjuk, akkor azt a számítógép tovább tudja feldolgozni és tárolni. A pásztázó elektronmikroszkóppal elsősorban vastag, nagy magasságkülönbséggel és érdességgel rendelkező tömbmintákat figyelnek meg, ezzel is kiemelve a tervezés során a mélységélességet. Általában olyan törések és természetes felületek elemzésére használják, amelyeket nem kezeltek mesterségesen.
Elektronmikroszkóp és metallográfiai mikroszkóp
1, Különböző fényforrások: A metallográfiai mikroszkóp látható fényt használ fényforrásként, míg a pásztázó elektronmikroszkóp elektronsugarat használ a képalkotáshoz.
2, Az elv más: a metallográfiai mikroszkóp geometriai optikai képalkotási elveket alkalmaz a képalkotáshoz, míg a pásztázó elektronmikroszkóp nagy energiájú elektronsugarak segítségével bombázza a minta felületét, különböző fizikai jeleket stimulálva a felületen. Ezután különböző jeldetektorokat használnak a fizikai jelek fogadására és képi információvá alakítására.
3, Különböző felbontások: A fény interferencia és diffrakciója miatt a metallográfiai mikroszkóp felbontása csak 0.2-0.5um-ra korlátozható. Az elektronsugarat fényforrásként használva a pásztázó elektronmikroszkóppal 1-3nm közötti felbontás érhető el. Ezért a metallográfiai mikroszkópos mikroszerkezet-megfigyelés a mikroméretű analízishez, míg a pásztázó elektronmikroszkópos mikroszerkezet-megfigyelés a nanoméretű analízishez tartozik.
4, Eltérő mélységélesség: Általában a metallográfiai mikroszkóp mélységélessége 2-3um között van, ezért rendkívül magas követelményeket támaszt a minta felületi simaságával szemben, így a minta-előkészítési folyamata viszonylag bonyolult. A pásztázó elektronmikroszkópia ezzel szemben nagy mélységélességgel, széles látómezővel és háromdimenziós képalkotási hatással rendelkezik. Közvetlenül megfigyelheti a minták különböző egyenetlen felületeinek finom szerkezetét.
