Az elektronmikroszkóp és a metallográfiai mikroszkóp közötti különbségek
A pásztázó elektronmikroszkóp elve
A Scanning ElectronMicroscope (SEM) egy összetett rendszer. Az elektronikus optika technológia, a vákuumtechnika, a finommechanikai szerkezet és a modern számítógépes vezérlési technológia koncentrálódik. A pásztázó elektronmikroszkóp (SEM) az elektronágyú által kibocsátott elektronokat finom elektronnyalábokká gyűjti össze többlépcsős elektromágneses lencséken keresztül, gyorsított nagyfeszültség hatására. A mintafelület pásztázása különféle információkat stimulálhat, amelyeket fogadni, felerősíteni, megjeleníteni és leképezni lehet a mintafelület elemzéséhez. A beeső elektronok a mintával kölcsönhatásba lépve információtípusokat generálnak, amint az az 1. ábrán látható. Ezen információk kétdimenziós intenzitáseloszlása a minta felületének jellemzőitől függően változik (ezek a jellemzők közé tartozik a felület morfológiája, összetétele, kristály orientációja, elektromágneses jellemzők stb. .). A különböző detektorok által gyűjtött információkat sorrendben és arányban videojelekké alakítják, majd a szinkron pásztázó kineszkópba továbbítják annak fényerejének modulálására, így a minta felületi állapotát tükröző pásztázási kép nyerhető. Ha a detektor által vett jelet digitalizáljuk és digitális jellé alakítjuk, akkor azt a számítógép tovább tudja feldolgozni és tárolni. A pásztázó elektronmikroszkóp (SEM) elsősorban vastag, nagy magasságkülönbséggel és érdességgel rendelkező minták megfigyelésére szolgál, így kiemeli a mélységélességet a tervezés során, és általában törések és természetes felületek elemzésére használják kézi kezelés nélkül.
Elektronmikroszkóp és metallográfiai mikroszkóp
Először is, a fényforrás más: a metallográfiai mikroszkóp látható fényt használ fényforrásként, a pásztázó elektronmikroszkóp pedig elektronsugarat használ a képalkotáshoz.
Másodszor, az elv más: a metallográfiai mikroszkóp geometriai optikai képalkotási elvet használ a képalkotáshoz, a pásztázó elektronmikroszkóp nagy energiájú elektronsugarat használ a minta felületének bombázására, amely különféle fizikai jeleket gerjeszt a minta felületén, majd különböző jeldetektorokat használ a vételhez. fizikai jeleket, és alakítsa át képi információvá.
Harmadszor, más a felbontás: a fény interferencia és diffrakciója miatt a metallográfiai mikroszkóp felbontása csak 0.2-0.5 um-ra korlátozható. Mivel a pásztázó elektronmikroszkóp elektronsugarat használ fényforrásként, felbontása elérheti a 1-3 nm-t, így a metallográfiai mikroszkóp mikroszerkezet-megfigyelése a mikron-méretű analízishez, a pásztázó elektronmikroszkóp mikroszerkezet-megfigyelése pedig a nanoméretű elemzéshez tartozik. .
Negyedszer, a mélységélesség eltérő: Általában a metallográfiai mikroszkóp mélységélessége 2-3um között van, így a minta felületi simasága rendkívül magas, így a minta-előkészítési folyamat viszonylag bonyolult. A pásztázó elektronmikroszkóp ezzel szemben nagy mélységélességgel, nagy látómezővel és háromdimenziós képpel rendelkezik, amellyel közvetlenül megfigyelhető a különböző minták egyenetlen felületeinek finom szerkezete.
