Konfokális mikroszkópok alkalmazásai a félvezetőiparban
A nagy-félvezetőgyártás során integrált áramköri chipeket kell felhelyezni az ostyára, majd különböző egységekre osztani, végül csomagolni és forrasztani. Ezért az ostyavágó horony méretének pontos ellenőrzése és mérése a gyártási folyamat döntő láncszeme.
A konfokális mikroszkóp a Zhongtu Instrument által piacra dobott mikroszkópos érzékelőeszköz, amelyet széles körben használnak a félvezetőgyártási és -csomagolási folyamatokban. Érintkezés nélküli szkennelést végezhet, és összetett formájú és meredek lézervágó barázdákkal rendelkező felületi elemek háromdimenziós morfológiáját{2}} rekonstruálhatja.
A konfokális mikroszkóp kiváló optikai felbontással rendelkezik, és egy átlátszó képalkotó rendszeren keresztül részletesen meg tudja figyelni az ostya felületének jellemzőit, például, hogy vannak-e hibák, például éltörés és karcolások a lapka felületén. Az elektromos torony automatikusan válthat a különböző objektív nagyítások között, a szoftver pedig automatikusan rögzíti a jellemzők éleit a gyors kétdimenziós méretméréshez, ezáltal hatékonyabban érzékeli és minőségileg szabályozza az ostya felületét.
Az ostyák lézeres vágásánál pontos pozicionálás szükséges, hogy a hornyok a megfelelő kontúr mentén vághatók le az ostyán. Az ostya szegmentálásának minőségét általában a vágóhornyok mélységével és szélességével mérik. A VT6000 sorozatú konfokális mikroszkóp konfokális technológián alapuló, nagy sebességű szkennelő modulokkal-felszerelt, professzionális elemzőszoftverrel rendelkezik több területtel és automatikus mérési funkciókkal. Gyorsan rekonstruálhatja a vizsgált lapka lézerhornyának háromdimenziós kontúrját, és több profil elemzést végezhet, hogy megkapja a csatornamélységet és a keresztmetszet szélességét{6}.
